Современные технологии формирования прецизионных микромеханических структур интегральных кремниевых сенсоров, высокоинтегрированных сенсорных и МЭМС-систем

В обзоре анализируются новые технологии формирования микромеханических структур интегральных сенсоров и МЭМС-устройств. Сравниваются достоинства и недостатки растаптываемых технологий, позволяющие выбрать наиболее эффективное решение.

Источник: Научно-технический сборник «Зарубежная электронная техника», выпуск №2, 2002 г.