Авторы: Г.А. Мустафаев, Т.Э. Саркаров, Р.Ш. Тешев, А.Г. Мустафаев
Способы получения тонких диэлектрических пленок для ИС
Проведен анализ методов получения тонких диэлектрических пленок для ИС, отмечены достоинства и недостатки рассмотренных методов, даны рекомендации по их применению.
Источник: Научно-технический сборник «Зарубежная электронная техника», выпуск №4, 2000 г.