Заводы по обработке пластин диаметром 300 миллиметров: переход от опытного к массовому производству

Рассматриваются вопросы организации заводов по обработке пластин диаметром 300 мм, их экономической эффективности по сравнению с 200-мм производствами, опыт первых действующих линий, планы ведущих фирм по созданию соответствующей производственной базы.

Источник: Научно-технический сборник «Зарубежная электронная техника», выпуск №4, 2000 г.