Элемент на поверхностно-акустических волнах без чувствительного покрытия как анализатор газов и газовых смесей

В статье приведены результаты исследования эффекта газовой нагрузки в присутствии различных бинарных газовых смесей в вакууме и в газодинамическом режиме. Получены зависимости изменения диффПАВ-частоты от давления в вакууме азота, кислорода, аргона, оксида углерода, диоксида углерода и бинарных смесей. Сравнение рассчитанных значений ПАВ-сенсорной чувствительности с экспериментальными данными показало их хорошую сходимость.

Источник: Научно-технический и производственный журнал «Датчики и системы» №1, январь 2011