МДП-сенсоры с различными металлическими и диэлектрическими слоями
В статье представлено несколько вариантов МДП-сенсоров, изготовленных с помощью технологии лазерного напыления тонких пленок, с различными диэлектрическими слоями и металлическими электродами. Определены метрологические характеристики этих МДП-сенсоров. Найдены два типа сенсоров — с аномально высокими и низкими чувствительностями к H2, H2S, NO2, и NH3, представляющие практический интерес для использования в качестве чувствительных элементов газоанализаторов. Показано, что наличие каталитических свойств металлических электродов не необходимо для проявления чувствительности сенсоров. Этот факт интересен для будущей микроскопической теории чувствительности МДП-сенсоров.
Источник: Научно-технический и производственный журнал «Датчики и системы» №2, январь 2011