Чувствительный элемент газового сенсора с наноструктурированным поверхностным рельефом

Разработана управляемая методика изготовления стекловидных наноразмерных пленок для чувствительных элементов (ЧЭ) газовых сенсоров на основе физико-математических закономерностей процессов, протекающих при формировании пористых матриц методом золь-гель. Определены оптимальные параметры морфоструктуры поверхности пленок и условия их получения.

Источник: Научно-технический и производственный журнал «Датчики и системы» №2, январь 2011