Микроэлектронные преобразователи давления для средств регулирования и мониторинга технологических процессов в энергосберегающих системах

В статье рассмотрены конструкции микроэлектронных преобразователей давления, выполненных на базе кремниевых структур. Приведена конструкция, обеспечивающая защиту микроэлектронного преобразователя от воздействвия окружающей среды, а также варианты использования в системах теплоавтоматики.

Источник: Научно-технический и производственный журнал «Датчики и системы» №4, апрель 2011