ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния

ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния

ДЕЙСТВУЕТ.

Дата введения: 01.01.1986 г.

Авторы: Министерство цветной металлургии СССР.

Утвержден и введен в действие Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 13.07.1984 г. № 2491.

Доступ ограничен

Приглашаем Вас стать пользователем Системы (ЭТБ) "ГИС-Профи" для специалистов и руководителей предприятий топливно-энергетического, металлургического и транспортного комплексов промышленности.

Пройдите регистрацию