Диагностика методом баллистической электронной эмиссионной микроскопии/спектроскопии — 2: Разработка головки для СЗМ НТ-МДТ® SolverPro™

В настоящей статье даны рекомендации к изготовлению оборудования для измерений методом баллистической электронной эмиссионной спектроскопии (БЭЭС). Демонстрируется разработанная авторами приставка для сканирующего зондового микроскопа НТ-МДТ® SolverPro™, реализующая возможность диагностики полупроводниковых наноструктур методом баллистической электронной эмиссионной микроскопии/спектроскопии (БЭЭМ/БЭЭС).