BS EN 62047-11:2013. Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 11: Test method provisions linear thermal expansion offree-standing materials for micro-electromechanical systems
Доступ ограничен
Приглашаем Вас стать пользователем Системы (ЭТБ) "ГИС-Профи" для специалистов и руководителей предприятий топливно-энергетического, металлургического и транспортного комплексов промышленности.
Пройдите регистрацию