ГОСТ 8.591-2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки

ДЕЙСТВУЕТ.

Дата введения: 01.11.2010 г.

Авторы: Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума" (Россия), Федеральное государственное учреждение "Российский научный центр "Курчатовский институт" (Россия) и Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский физико-технический институт (государственный университет)" (Россия).

Утвержден и введен в действие Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 05.04.2010 г. № 55-ст.