ГОСТ Р 8.628-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

ДЕЙСТВУЕТ.

Дата введения: 01.02.2008 г.

Авторы: Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума", Федеральное государственное учреждение Российский научный центр "Курчатовский институт", Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский физико-технический институт (государственный университет).

Утвержден и введен в действие Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 21.05.2007 г. № 96-ст.