ГОСТ Р 8.644-2008 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика калибровки

ДЕЙСТВУЕТ.

Дата введения: 01.06.2009 г.

Авторы: Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума", Федеральное государственное учреждение "Российский научный центр "Курчатовский институт" и Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский физико-технический институт (государственный университет)".

Утвержден и введен в действие Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 26.08.2008 г. № 186-ст.